Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого побил все
рекорды, разработав инновационный комплекс для производства микроэлектронных
наноструктур. Этот комплекс играет важную роль в обеспечении работоспособности
различного микроэлектронного оборудования, сообщает корреспондент издания
Экстраблог со ссылкой на РИА Новости.
Описание комплекса показывает, что он состоит из двух основных частей.
Первая часть представляет собой промышленный образец установки безмасочной
нанолитографии. Это инновационное технологическое решение позволяет создавать
наноструктуры без использования традиционных масок, что значительно
повышает производительность и эффективность процесса.
Вторая часть комплекса — промышленный образец установки плазмохимического
травления кремния. Этот процесс используется для создания различных элементов
и структур на кремниевых поверхностях. Преимущество данного оборудования
заключается в его способности обрабатывать кремниевые материалы, которые
широко применяются в микроэлектронике.
Однако, самое интересное в данной разработке — это ее доступная цена.
Отечественный комплекс может быть приобретен всего за пять миллионов
рублей, в то время как зарубежные аналоги таких же характеристик стоят
от 10 до 13 миллиардов. Это значительное различие в стоимости делает
разработку более доступной и привлекательной для потенциальных
покупателей.
Еще одним важным аспектом комплекса является его автоматизация.
Ученые разработали специальное программное обеспечение, которое
обеспечивает полную автоматизацию работы оборудования. Это снижает
вмешательство человека в процесс и уменьшает вероятность ошибок.
Кроме того, присутствует система обратной связи, которая позволяет
операторам быстро реагировать на изменения и оптимизировать
производственный процесс.
